電子十萬級無塵車間建設要求

所謂半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。根據潔凈度不同分為100級（小于3.5個），1000級（小于35個），10000級（小于350個），100000級（小于3500個）。

潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定）。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)

電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa

電子制造行業(yè)萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的值：補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項值：

保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量；

根據熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量；

向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量；

WOL 承接 電子潔凈車間 加工廠房 設計裝修——WOL 承接 電子潔凈車間 加工廠房 設計裝修